半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片中高端测封配建涉重电镀废水——MVR强制性巡环零排大型项目
新项目视频背景
半导体芯片芯片中低端首测投资项目流程,占比150万每立方/天,是首批半导体芯片芯片首测配套工程涉重废渣零排投资项目流程。首测阶段的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后除垢会发生含镍含铜废渣,工业园区追求"无尾水外排",产水完全回收于产线。
水质量表现形式与关键问题
焦化废水以含镍主要(有机酸废气浓度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH振幅大(2–12),有光刻胶使用量的极少量有机酸物。公测厂地方紧,标准治疗配制征地赔偿小;零排暗示着浓水没法建筑垃圾清运多,需要地方化掉沉淀开环。
外理工学艺交通路线
整体风格走"分质汇集 → 预操作除杂 → 化学反应发展除镍 → 吸附 → UF+多级RO → MVR强迫循环往复蒸馏 → 冷疑水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,加药氢脱色反应钠转化成Ni(OH)₂凝固,加个混炼钠进一步捕集器稳定度镍(混炼镍Ksp比氢脱色反应镍更小,可以让镍压到0.1毫克/升下类);
沉淀物中喷水经多物料脱水水+物业保安脱水水后进UF,再进特级RO,产水可以直接回产线难以清理;
RO浓水(含盐+残存巨资属)进MVR禁止重复化掉器,禁止重复能扛高含盐结渣,化掉器自带的在线视频除污,很难堵;
MVR冷凝水水到回收池子,减压蒸馏残液委外焚烧秸秆或做垃圾救治,全部整个厂内无液体外排。
关键因素设施独到之处表示
MVR二次配置比起各种类型降膜蒸发掉器器,配置流体密度高、传热系数面难于结镍盐/碳酸盐垢,满足公测这些"排水量不高但水源杂"的动画场景;分立式化撬装规划土地征用比传统艺术蒸发掉器器塘+多效蒸发掉器器方案设计小60%综上所述;臭味侧一起动物滤池,把上下调整池和活性污泥间的臭味整理后可降解成CO₂和水,解决公测厂毗邻办公室区的臭味举报。
整理特效与生态效益
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《镀膜造成的空气污染物减排条件》表三;任何150万立米/天产水中水回用于公测产线擦拭,使用等量最新鲜水;危废处理(蒸发器残液+污水)量比传统意义"放置+减排"的模式减约70%。对富士康侧,公测顶目健康市场准入卡点打架通;