成都某半导体器件基带芯片研发厂,晶圆加工厂环节中引发含硅、氟的特定工业废水办理方式 ,规划治疗占比1200吨/日。工业废水办理方式 因素繁复,具有刺激性nm级硅颗粒肥料及氢佛酸,过去治疗方式 不可不合格。
废污水组成及收入
大部分环境破坏物
:悬浊液硅(100-500nm比表面积)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来程序
:晶圆刻蚀废水处理工艺处理方法(45%)、CMP电学机械仪器制造磨光废水处理工艺处理方法(40%)、仪器擦拭水(15%)
清理步骤流程步骤流程
改革创新所采用"普通机械沉淀物+特中膜拆分"技能自驾路线:
钙盐积累
:加药氯化钙清除氟阴阳离子(生成二维码CaF2积累)
水解酸化池反响
:符合斜管沉淀池剂实现目标溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔的直径膜虚报冒领微细粒子
反融于设备
:脱盐率>98%,回笼率75%
蒸发器晶粒
:浓水段保持氟化物零尾气排放
最终能够视觉效果
氟化物有机废气浓度:<8mg/L(低过地方一級的标准10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
水教育资源回收率:70%用来冷去塔补湿
危废处理变少:多效蒸发食物残渣量较过去生产工艺变少60%