某半导制造厂厂家因晶圆洁净工艺程序生成含氨工业废水，供水量200吨/天。工业废水里面除挥发酚外还包含有氟化物和轻微巨资属，进行处理难易度大。场地污染物标准的想要挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水组成及主要来源 晶圆擦拭废气（主要是來源）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀环节废气：含进样器铜、镍等高价属，pH值震荡大 CMP磨细生活污水：含硅粉末及挥发酚 净化处理工艺技术方法 通过"无机化学乳浊液+膜分離+折点氯化"结合生产技术： 预治疗 ：添加CaCl2除氟，把握pH在7.5-8. 反渗透膜软件系统 ：取除0.01μm之上粉末物 反覆盖精提 ：将氧化还原电位果汁至1000mg/L上面 折点氯化 ：明确把控氯加药系统量，将氯离子导出为氦气 阴阳离子相互交换 ：保证巨资属及格 之后的效果 化学需氧量维持＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含水量不高于查测限 水回收率达75% 厌氧颗粒污泥产生了量下降40%