某半导体电子器件电子器件制造技术厂在晶圆加工生产期间中，食用硅烷来硅外延性成长，汽车尾气洗衣塔形成高浓硫酸浓度含硅废气治疗工艺。废气治疗工艺含有pH价格波动大（2-11）、硅含量高的特质，传统的治疗步骤易出現硅垢阻塞状况。 废污水化学成分及种类 废液关键有效成分为： 融解性硅酸盐 ：SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢硫化钠 ：洗衣塔碱酸洗衣液存留 科粒硅 ：nm级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：原材悬浮物进入 治理工艺设计方法 创新性用于"二级中合+膜脱水+挥发析出"方法： 特一级中合 ：用CaO缓解pH至4-5，导出硅酸钙水解，硅去掉率60%。 二级考试中合 ：加Na₂CO₃将pH不断提升至9，进几步凝固剩的硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜平台 ：0.02μm淘瓷膜活性炭过滤纳米级级硅小粒，通量动态平衡在80LMH。 MVR多效空调蒸发器 ：沉淀高盐生活污水，析出出Na₂SO₄副车辆，水循环率超90%。 以后郊果 总硅从1500mg/L降到5mg/L以上 砷含水量从0.8mg/L下降0.01mg/L 系统化无积灰行驶超过了2年 每季度回收并硝酸钠钠结晶约800吨