该晶圆生產的加工厂座落华南地,大部分生產的8寸大半导体技术晶圆,平均生產废水进行环保排放标准单位量约800吨。致使生產的工作中在使用海量氢氧化钠实现晶圆蚀刻,出现生產废一般的水都氟化物盐浓度达200-300mg/L,远超地方进行环保排放标准单位标准单位(10mg/L下例)。
污废水 化学物质及渠道
电镀废水一般出自于6个部分:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高氧浓度氟化物(HF)、盐酸及少许天价属
电化学自动化设备打磨抛光(CMP)废液
:含納米级硅粉末、设计络合剂
机器设备清晰废水处理方法
:含异丙醇、化学需氧量等有机化学物
解决生产技术的流程
主要包括"电学乳浊液+沥青混凝土乳浊液+深度1滤水"四级净化处理平台:
6级处里
:添加氯化钙和氢阳极氧化钙,组成氟化钙悠长岁月中,氟化物洗去率达85%
特殊治疗
:修改PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(PP酰胺),弄掉固体态破坏物
四级加工
:实现多材质筛选器和可溶性炭吸附物,有水出氟化物溶液浓度安稳在8mg/L有以下
重中之重机属于:pH自動控制系统性、斜管发展池、板框过滤机(工业废水脱水过滤)。
终于效率
活动加载五年期监测器数据文件体现:
氟化物均值渗透压:7.2mg/L(少于国家的的标准)
COD删去率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年回收处理氟化钙副商品约150吨,变现资源性化通过